В России представили проект многолучевого литографа для выпуска микросхем

В Российские специалисты представили проект многолучевого электронного литографа для выпуска современных микросхем. Разработка ведется при поддержке Национальной технологической инициативы. Основой установки стал мультикатод, который одновременно формирует множество независимых электронных лучей вместо одного, пишут «Известия».